Έναντι του παραδοσιακού δύο-ρευστού ψεκασμού, ο υπερηχητικός ψεκασμός έχει τα πλεονεκτήματα της υψηλής ομοιομορφίας επιστρώματος, υψηλή χρησιμοποίηση πρώτης ύλης, υψηλή ακρίβεια ελέγχου πάχους επιστρώματος, λεπτύτερο πάχος επιστρώματος, λιγότερος παφλασμός, καμία απόφραξη των ακροφυσίων, και των χαμηλών κοστών συντήρησης. Έναντι της κενής εξάτμισης, CVD και άλλων διαδικασιών επιστρώματος, ο υπερηχητικός ψεκασμός είναι μια πιό οικονομική διαδικασία επιστρώματος λεπτών ταινιών, ειδικά για την προετοιμασία ταινιών μεγαλύτερης περιοχής. Το κόστος του υπερηχητικού ψεκάζοντας εξοπλισμού είναι πολύ χαμηλότερο από αυτό του εξοπλισμού κενού επιστρώματος. Εισάγετε εν συντομία αυτά τα κύρια πλεονεκτήματα του υπερηχητικού ψεκασμού.
Υψηλή ομοιομορφία επιστρώματος
Η ομοιομορφία της υγρής διανομής μορίων μετά από να ψεκαστεί από το υπερηχητικό ακροφύσιο είναι σημαντικά υψηλότερη από αυτή του δύο-ρευστού ακροφυσίου, επίσης γνωστή ως πυροβόλο όπλο ψεκασμού αέρα, έτσι ώστε η ομοιομορφία του επιστρώματος μετά από τον υπερηχητικό ψεκασμό ακροφυσίων βελτιώνεται επίσης σημαντικά. Γενικά, η ομοιομορφία του υπερηχητικού επιστρώματος ψεκασμού μπορεί να φθάσει περισσότερο από 95%.
2. Υψηλή χρησιμοποίηση πρώτης ύλης και λιγότερος παφλασμός
Επειδή ο υπερηχητικός ψεκασμός είναι υγρή διάσπαση σε άτομα από την υπερηχητική δόνηση, το επίστρωμα δεν ψεκάζεται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας διάσπασης σε άτομα, δηλ., η διαδικασία διάσπασης σε άτομα δεν απαιτεί την πίεση, και μόνο μια πολύ χαμηλή πίεση αερίου μεταφορέων εφαρμόζεται μετά από τη διάσπαση σε άτομα για να μεταφέρει την υγρή υδρονέφωση. Μειώνει πολύ την υγρούς αναπήδηση και τον παφλασμό που προκαλούνται αεροπορικώς υψηλός που ψεκάζεται από δύο ρευστά, με αυτόν τον τρόπο βελτιώνοντας πολύ ποσοστό χρησιμοποίησης του επιστρώματος. Το ποσοστό χρησιμοποίησης πρώτης ύλης υπερηχητικού ψεκασμού είναι περισσότερες από 4 φορές αυτό του συνηθισμένου ψεκασμού αέρα, και το ποσοστό χρησιμοποίησης μπορεί να φθάσει περισσότερο από 90%.
3. Υψηλή ακρίβεια ελέγχου πάχους επιστρώματος
Ο κύριος παράγοντας που έχει επιπτώσεις στην ακρίβεια πάχους επιστρώματος είναι το ποσοστό ροής ψεκασμού του επιστρώματος, δηλ., το ποσό υλικού συνέχισε το υπόστρωμα ανά χρόνο μονάδων. Το υπερηχητικό κεφάλι ψεκασμού δεν έχει οποιαδήποτε πίεση στο υγρό, έτσι μπορεί εντελώς να ελέγξει την υγρή ροή του ψεκασμένου επιστρώματος ψεκασμού από μια μεγάλης ακρίβειας μετρώντας αντλία, με αυτόν τον τρόπο επιτυγχάνοντας το μεγάλης ακρίβειας έλεγχο ροής ψεκασμού. Όπως μια μεγάλης ακρίβειας αντλία συρίγγων, η ακρίβεια ελέγχου ροής της μπορεί να φθάσει στο επίπεδο picoliters ανά δευτερόλεπτο, και το micro-channel σχέδιο του υπερηχητικού ακροφυσίου μπορεί επίσης να επιτύχει τη γενική ακρίβεια ελέγχου των nanoliters ανά δευτερόλεπτο.
4. Το λεπτό πάχος επιστρώματος μπορεί να φθάσει στις δεκάδες των νανομέτρων
Επειδή ο όγκος ψεκασμού του υπερηχητικού κεφαλιού ψεκασμού μπορεί να επιτύχει ένα πολύ χαμηλό σταθερό ποσοστό ροής (0.001ml/λ.), μπορεί να επιτύχει πολύ έναν μικρό φορτώνει το ποσό στο υπόστρωμα, με αυτόν τον τρόπο επιτυγχάνοντας μια πολύ λεπτή ξηρά ταινία. Για μερικά nanomaterials, το ξηρό πάχος ταινιών μπορεί να είναι τόσο χαμηλό όσο οι δεκάδες των νανομέτρων. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να προετοιμάσει τις λεπτές ταινίες γυαλιού όπως η διαφανής αγώγιμη ταινία, ταινία αντιαντανάκλασης αντιαντανάκλασης, που θερμομονώνει την ταινία, και την υδροφοβική ταινία.
5. Καμία απόφραξη των ακροφυσίων και του χαμηλού κόστους συντήρησης
Επειδή το υπερηχητικό ακροφύσιο είναι ένα υγρό που ψεκάζεται από την υπερηχητική ταλάντωση, και τα ψεκασμένα μόρια καθορίζονται από την υπερηχητική συχνότητα ταλάντωσης, είναι διαφορετικό από το δύο-ρευστό ακροφύσιο. Η διάμετρος ακροφυσίων δεν πρέπει να είναι πολύ μικρή για να επιτύχει τα λεπτά ψεκασμένα μόρια, έτσι μειώνει τον κίνδυνο απόφραξης ακροφυσίων.
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Ms. Hogo Lv
Τηλ.:: 0086-15158107730
Φαξ: 86-571-88635972